Wie denkt aan chips maken, denkt natuurlijk aan bedrijven als Intel of TSMC. Maar zelfs als je op een verjaardag met schoonfamilie vraagt hoe die chips gemaakt worden, noemt bijna iedereen ASML, 'dat Nederlandse bedrijf' of een variant daarop. ASML is immers bijna een household name geworden en synoniem met chipproductie. Het bedrijf uit Veldhoven speelt zelfs zo'n cruciale rol bij het maken van bijna elke chip in je computer, laptop, telefoon of televisie dat de politiek zich bemoeit met aan wie de ASML-apparatuur wel en niet geleverd mag worden. Aan die bijna monopolistische situatie zou zomaar een eind kunnen komen, want een oude concurrent van ASML werkt aan een comeback.
Die concurrent is nooit helemaal weggeweest, want Canon, natuurlijk bekend van de camera's, maakt nog altijd een substantieel aantal van de lithografiemachines waarmee chips geproduceerd worden. Een voorbeeldje: in 2020 werden volgens Medium 413 lithografiemachines verkocht, waarvan 62 procent of 258 stuks van ASML afkomstig waren. De rest werd door Canon en Nikon geleverd, met een respectabel aantal van 122 stuks door Canon en 33 door Nikon. De crux zit in wat voor machines die drie lithografiefabrikanten dan leveren. ASML staat natuurlijk bekend om zijn euv-machines, voor de allermodernste chips. Een beetje chip wordt echter opgebouwd uit wel honderd laagjes en die hoeven lang niet allemaal met die dure machines gemaakt te worden. De minder kritieke laagjes kunnen met oudere lithografiemachines gemaakt worden, met een lagere resolutie en, niet onbelangrijk, tegen lagere kosten.
En dat zijn de machines die Canon momenteel levert. Het bedrijf maakt eigenlijk twee 'families' lithografiemachines: i-linesteppers en KrF-machines. Die KrF-machines, zo genaamd wegens de gebruikte kryptonfluoride-lasers, zijn geschikt voor chips tot pakweg de 90nm-node. Dat is natuurlijk een stuk minder sexy dan de sub-10nm-chips waar we op Tweakers over schrijven, maar ook die hebben niet-kritische lagen die met dergelijke oude machines gemaakt worden. De i-linemachines worden voor nog grotere featuresizes gebruikt, waarmee bijvoorbeeld de dikkere metaallagen op een chip gemaakt worden. Daarnaast worden de machines van Canon onder meer gebruikt voor de productie van cmos-sensors, die minder fijne features nodig hebben, of voor andere chips die kosteneffectief gemaakt moeten worden. Om een lang verhaal kort te maken: een 7nm 'euv'-chip wordt bij lange na niet alleen met euv-machines gemaakt en er worden nog heel veel chips op oude procedés geproduceerd.
Dat neemt niet weg dat ASML op het gebied van leading edge-chipproductie, met name op het gebied van euv, natuurlijk alleenheerser is. Canon en Nikon maken helemaal geen euv-machines, en alleen Nikon maakt een handjevol ArF(i)-machines, terwijl Canon die markt helemaal links laat liggen. Om een indicatie van de prijzen te hebben: eenvoudige steppers kosten pakweg 5 miljoen euro, terwijl euv-machines voor 150 miljoen tot 200 miljoen euro verkocht worden. Canon zou zich echter opmaken om weer in dat bijzonder lucratieve hoogste segment mee te gaan spelen. Dat kan leiden tot wat opschudding en gezonde concurrentie. Canons antwoord zou geen euv gebruiken, maar de patronen op wafers 'stempelen'.
Source: Tweakers.net